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技術應用

SFQ超導低頻多通道測量系統(tǒng)的應用：
1、制造技術表征：測量晶圓臨界電流密度；JJ區(qū)域偏差；微帶線與 其他版圖單元的Ic與Tc參數；加工誤差統(tǒng)計表征
2、芯片量產篩選：自動運行程序對芯片質量定性的診斷
3、SQUID傳感技術：I-V和Φ -V的高分辨率多通道測量
4、復雜電路的測量：模擬/數字超導體設計的高精度高動態(tài)范圍測量：ADC、DAC電壓標準
5、數字 RSFQ 電路的功能測試:驗證復雜測試模式上的邏輯功能，在多維度參數空間中找到操作區(qū)域
6、布局設計:測量片上電阻器的值；提取電阻陣列和復雜電阻值的參數；測量片上元件的電感

定制電子束蒸發(fā)鍍膜機的應用：
1、用于LIFT-OFF工藝鍍膜
2、用于GLAD工藝鍍膜
3、可蒸鍍金屬，半導體或介質材料
4、可蒸鍍鐵鈷鎳等磁性材料
5、可蒸鍍單層、多層膜或共蒸合金薄膜
6、用于量子科學、超導材料、約瑟夫結、半導體、碳基器件、石墨烯等二維半導體材料、光電微納器件、生物薄膜及其他材料薄膜沉積

光學與芯片測試系統(tǒng)的應用：
功能：光波導芯片與光纖陣列的單端或雙端全自動耦合。